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Single crystal furnace 单晶炉
单晶炉是软轴提拉型晶体生长装备,在低于常压的惰性气体情形中,以石墨电阻加热器加热,将填充在石英坩埚内的多晶硅质料熔化,用直拉法生长无位错的高质量单晶装备。现在可生产 CZ160 型及以上单晶炉装备。
防护设施
液面检测、掉棒;さ认低彻π腔ぐ濉⒐艿婪辣ぐ濉⑺淦列寡狗У惹寰采柚
可选设置
集中监控方面,利便 CCD 巡检,WEB 可视化生产看板,可凭证客户要求订制。
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